217  217    1    1
  0.2001388E+02  0.3252140E-08  0.1252140E-08  0.1066520E-08  0.5000000E-15
  1.000000000000000E-004
  CAR 
 Si73C31N9O103-F atom (VASP-4)           
   1086      4    652